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제품소개

Vacuum Valve / Total Solution

Vacuum Valve

Vacuum Pump Isolation (VPI)

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* 동작* 특징


Vacuum Pump Isolation (VPI) Valve는 진공 시스템을 보호하는 목적으로 제작되었습니다. 


진공 시스템이 가동 중에 돌발적으로 전원에 문제가 되었을 때, 챔버와 2차 펌프를 보호하고 1차 펌프(오일펌프)의 오일 역류 문제를 해결하기 위한 부품입니다.



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