Vacuum Valve / Total Solution
* 동작 | * 특징 |
Chamber와 Chamber사이에 주로 많이 사용하고 역압에 견디는 밸브이다. 동작 원리는 Two Stage 방법으로 Frist Stage로 Air cylinder가 밸브 내부에 있는 Plate를 Sealing 부분까지 이동 시킨 후 Second Stage로 Plate가 비스듬이 올라가 Sealing 시켜주는 밸브이다. Life Time를 늘리기 위해 Bearing및 Plate에 특수 열처리하였다. 주로 2" x 6"~14" Size를 생산하고, Customer Order Made로 Max 150mm x 1000mm 까지 제작 가능하다 |