Vacuum Valve / Total Solution
Heater 내부에 상온의 Gas를 넣으면 배출시 원하는 온도가 나온다.
고체나 액체 Gas에 열 에너지를 주어 Gas들을 기화(Vapor)시켜 쉽게 건조 시키는 제품이다.
주로 Cryopump Regeneration, Dry건조기 , Large Chamber에 많이 사용된다.