Vacuum Valve / Total Solution
主要用于高真空泵(Turbo, Cryo, Diffusion Pump)是耐压力阀门。
运转原理是用Two stage方法,First Stage将Air Cylinder位于阀门内部的Plate移动到Sealing部位,Second Stage使Plate倾向上Sealing的阀门。
Pneumatic Type用Air Close(0%)或Open(100%),Manual type用水操作阀门。