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产品介绍

Vacuum Valve / Total Solution

Vacuum Valve

Vacuum Pump Isolation (VPI)

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Manual 咨询价格


* 运转* 特征


Vacuum Pump Isolation (VPI) Valve目的为保护真空系统。 


真空系统在运转过程中突然出现电源故障时，保护Chamber与二次泵，并解决1次泵(Oil Pump)的Oil回流问题。                                                              



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