Vacuum Valve / Total Solution
在ALD, MOCVD等Powder较多的工序中,Powder向Pump方向排气,凝固在相对低于周边温度的Flapper上 Valve运转时会产生很多问题。
其他品牌是戴上Heating Jacket, 但Flapper热传导不畅。
为了解决这些问题不仅是Valve Body,Flapper内部也内置了Heater,解决了Flapper中Powder堆积的现象。