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Throttle Valve

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분리형 Controller
GT-500 Pressure Controller

상기 그림과 같이 Controller와 밸브가 분리되어있는 분리형 Controller 이다. 


분리형 Controller는 Front Panel에서 독립적으로 제어를 할 수있고 Display되는 현상을 육안으로 볼 수도있으며, 장비 PLC와 통신으로 Data도 주고 받을수도 있다. 


장점은 MFC(Mass Flow Controller)를 최대 4개까지 선택사양(Option)으로 Throttle Valve와 동시에 제어를 할수있다.

GT-700 Pressure Controller

     Genius GT-700 model는 Throttle Valve 와 Controller가 분리되어 있는 분리형 Throttle valve pressure controller이다.


     GT-700는 진공 Chamber에 설치되어있는 Baratron capacitance manometer sensor로 부터 받은 현재 진공값과 Pressure controller에 입력한 원하는 Set Point 공정압력값을 비교하여, Throttle valve를 open 또는 Close시키면서 진공 pump의 conductance를 변화시켜 원하는 set point값에 빠르고 안정적으로 도달 시킨다.


     GT-700 Throttle Valve Control algorithm은 PID, Adaptive & Auto Tuning(Learn) 기능을 가지고 있다.


1) PID algorithm은 Gain, Lead라 불리는 PID 상수값을 잘 맞혀주면 원하는 공정 압력값(Process Vacuum Value)를 빠르고 안정적으로 찾아 가지만 Set Point값에 맞는 적정한 Gain, Lead를 Operator가 찾아야되는 불편함이 있다.


2) Adaptive algorithm는 Gain, Lead 상수값을 입력 시킬 필요가 없이 Controller가 전 범위 공정 압력값을 자동으로 빠른 시간안에 찾아 간다.


3) Auto Tuning(Learn) algorithm는 Throttle Valve가 Adaptive Mode로 동작 시 필요한 parameter를 도출하는 필수 과정이고 Learn 기능을 동작시 한번만 수행하게 되면, System Parameter가 자동으로 결정되고 Process 조건에 따라 지속적으로 반응하여 최적의 압력제어를 할 수 있도록 능동적으로 조정한다.