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Heating Type Butterfly(Round) Throttle Valve (40mm ~ 100mm)
Heating Type Butterfly(Round) Throttle Valve (40mm ~ 100mm)
ALD, MOCVD와 같은 Powder가 많이 발생되는 공정에서 Powder가 Pump 쪽으로 배기되면서 상대적으로 주변온도보다 낮은 Flapper 위에 응고되어 밸브 동작 시 문제를 많이 발생시킨다. 

이러한 문제를 해결하기 위해 밸브 Body와 Flapper 안에 Heater를 내장하여 Powder가 응고되는 현상을 줄여 밸브가 고장되는 문제점을 해결하였다.

공정 온도가 높을 경우 Flapper에 특수 O-Ring을 사용하거나 Leap Seal를 적용한다.