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Butterfly(Round) Type Throttle Valve (25mm ~ 300mm)
Butterfly(Round) Type Throttle Valve (25mm ~ 300mm)
이 Butterfly Type 은 Valve Body, Stepping Motor, 감속기로 구성되어있고 Body내부에 있는 Flapper가 Round Type으로 00~900 로 동작하면서 주어진 설정(Set Point)값에 빠르게 대응하여 원하는 공정 압력값(Process Setting Value)에    신속하게 도달 시켜주는 밸브이다.
 
또한 대형 Chamber 초기 진공시 Chamber와 Pump 사이에 있는 밸브를 100% Open시 많은 분자가 순간적으로 Pump쪽으로 유입되면서 Pump에 무리를 주어 Pump가 Down이 될수도 있으며, Chamber 내부에도 분자들이 갑자기 많은 양의   분자가 배기되면서 와류가 생겨 문제를 야기시킨다. 

이런 경우에 Throttle Valve로 Slow Pumping 시켜 이러한 문제점를 해결 할 수 있다.

-Non-Sealing Type
 : Flapper가 Close되더라도 Body와  틈새가 있어 Chamber가 진공이 된다. 
 : 공정압력이 10Torr에서 10-4  Torr인 경우에 사용한다          

-Sealing Type
: Flapper 외부에 O-Ring 이 있어 Close 시 완전 Sealing을 시킬 수 있으나          Right Angle Valve 대용으로 사용하면 안된다.
: 공정압력이 1000Torr에서 10Torr에서 많이 사용한다.
: Process 조건이 고온이나 Toxic Gas인 경우에는 특수 O-Ring을 적용한다.


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