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Vacuum Pump Isolation Valve (VPI)
Vacuum Pump Isolation Valve (VPI)

   VPI는 고진공펌프(Turbo Pump)와 저진공펌프(Dry & Oil Pump) 사이에 설치 되어있어 전원이 나가면 순간적으로 Close하여 고진공 펌프와 Chamber내 진공을     유지시키고  Oil Pump에서 발생되는 역류(Backstream)를 차단 시킨다. 


   또한 저진공 펌프쪽으로 Air Vent를 시켜 진공 압으로 인하여 고진공 펌프 쪽으로 역류(Backstream)되는 현상을 방지하고 Conductance를 고려하여 몸체를 설계       하였다.