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Relief Valve
Relief Valve


Chamber Vent시 Chamber 진공 압력이 대기압보다 상압이 되면 자동으로 밸브가 열려 내부의 압력을 유지시켜주고, 다시 진공상태가 되면 자동으로 Close되어     밀폐를 해주는 밸브이다. 

밸브를 오랜 기간동안 진공 상태에서 Open을 하지 않으면 Sealing을 해주는    O-Ring과 Metal이 강하게 붙착되어 초기에 설정한 압력 이상에서 Cracking이 되는경우도 발생된다. 

당사에서는 밸브를 세워서 테스트한 후 출하하기 때문에 옆으로 설치하거나       아래로 설치하여 사용하는 경우에는 Cracking 압력이 변할수있다. 

최근에는 Application이 늘어나면서 Relief Valve를 반대로 설치하여 일정한 진공(대기압보다 낮은) 압력에서 Cracking 되게 사용도 한다. 

Grow Box, Process Chamber, Vacuum Robot등에 많이 사용된다.